气体质量流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器流速和流量之间的关系
流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种：
体积流量的公式为Q=VS，Q代表气体的体积流量（m/s），V代表气体的平均流速（m/s），S代表气路管道的横截面积（㎡）。
质量流量则是M=ρQ=ρVS，M代表气体的质量流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），Q代表气体的体积流量（m/s）。
重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM，G代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（N/㎡），M代表气体的质量流量（kg/s）。
气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。
