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排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和有害气体的洁净室，被排介质毒性大的、有易1燃易1爆气体的岗位，应单独设局部排风系统。
洁净车间也与其他高技术一样，洁净车间技术的诞生和初步应用是服务于军事目的。在第二次世界大中，一些支、坦克、飞机等使用的仪器经常失效。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。净室及净化空调系统都达到了了洁净的要求之后，净化空调系统必须要进行试运转。好连续运转12个小时以上，然后再次进行清扫，擦净洁净室后立即安装过滤器。
洁净外走廊和其他辅助用房采用彩钢板，彩钢板板厚度必须按执行。风管要求经济与效率并重在无尘车间工程集中或净化空调系统中，对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉，方便施工，运行成本，内表面光滑阻力小。后者是指严密性好，不漏气，不发尘，不积尘，不污染，可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出，洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均采用了初级效率、中级效率、效率的空气过滤器。
厂房洁净室净化工程多属于生产高科技产品的生产厂房，此类厂房内的生产过程具有连续性不间断昼夜生产，且自动化程度较高，许多洁净厂房内的工作人员较少。洁净室对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等要求是非常高的，因此一般在做净化工程的时候在洁净室安装的过滤器都是过滤器。洁净厂房设置电话，对讲电话，可以减少人员在洁净区走动，减少发尘量，也可在万一发生火灾时及时与外部联系，也为正常工作联系创造条件。
