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特种气体分类:高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体,对于不同类别的气体,纯度指标不同,大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域;特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2,减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3,刻蚀工艺用到 CF4;20 世纪 80 年代,电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高,随着气体供应商供气模式的引入,国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司,国内特种气体市 场逐步发展起来。
特种气体的重要性:在半导体工艺中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的 一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。灭菌特种气体由于它的活泼型,杀菌力强、杀菌谱广,对物品损害轻微等优点,已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一,
特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2,减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3,刻蚀工艺用到 CF4;特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的 一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的 一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。特种气体的储存注意事项:储存高压气体≥300m,液化气≥3000kgs时,储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处,需设有安全警示牌。特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,