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阻容法（电容法）微量水分析仪
利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜，其外镀一层多空的网状金膜，金膜与铝棒之间形成电容，由于氧化铝薄膜的吸水特性，导致电容值随样气水分的多少而改变，测量该电容值即可得到样气的湿度。该方法的主要优点是测量量程可更低，甚至达-100℃，另一突出优点是响应速度非常快，从干到湿响应一分钟可达90%，因而多用于现场和快速测量场合；缺点是精度较差，不确定度多为±2～3℃。但随着各厂家的不断努力，该方法正在逐渐得到完善，例如，通过改变材料和提高工艺使得传感器稳定度大大提高，通过对传感器响应曲线的补偿作到了饱和线性，解决了自动校准问题。
优点：反映速度快。
缺点：精度较差。
冷镜法微量水分析仪
让样气流经露l点冷镜室的冷凝镜，通过等压制冷，使得样气达到饱和结露状态（冷凝镜上有液滴析出），测量冷凝镜此时的温度即是样气的露l点。该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃；缺点是响应速度较慢，尤其在露l点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时，而且此方法对样气的清洁性和腐蚀性要求也较高，否则会影响光电检测效果或产生‘伪结露’造成测量误差。
优点：精度高。
缺点：响应速度慢。
微量水分析仪未来的发展方向
监测型水质监测仪器主要用于单纯的水质监测，以判断水质是否达到法规的要求，以及环境水质和饮用水质的预警。水质参数主要是COD、氨氮、总磷、总氮和重金 属等。同时对于数据的准确度要求更高。过程型水质监测仪器主要用于水处理工艺或者用水过程中的水质监测，所测量的水质参数参与过程控制，以实现优化水处理工艺，提升水处理效率的目的。过程型在线水质监测仪对于仪器的可靠性和稳定性要求更高，它要求仪器能够可靠的反映水质变化趋势，为水处理过程控制提供依 据。另外，对过程型分析仪器响应时间的要求也明显高于监测型仪器。
样气以特别的传递方式流经探头，再结合一个高质量的界面。从而确保探头响应迅速和受干扰影响zui小，这些设计对于很低的ppm级测量十分重要。流经探头的样气流速通常设置在 20Nl/h(100Nl/h可选)。与分析仪的电气连接器为防水密封结构。用户可以十分容易的在五分钟内完成探头的再生工作。探头可以通过3个M4螺丝十分容易的安装在任何地方。
优点：测试灵敏度高，适合非常微量的水/痕水测试，同时可以测量腐蚀性气体。