机械设备
磁控溅射仪
2024-05-20 09:16  浏览:3
   VTC-16-1HD单靶磁控溅射仪是我公司自主新研制开发的一款高真空镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。单靶磁控溅射仪配备有一个靶枪,可选择强磁靶或弱磁靶,弱磁靶用于非导磁材料的溅射镀膜,强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,且具有体积小便于操作的优点,且可使用的材料范围广,是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。
  磁控溅射仪技术参数:
  1、电源电压:220v  50Hz
  2、功率:900W
  3、腔体内径:φ164mm
  4、极限真空度:9.0×10-4Pa
  5、样品台加热温度:RT-500℃,精度±1℃(根据实际需要提升温度)
  6、靶枪数量:1个(在真空室下方)
  7、靶枪冷却方式:水冷
  8、靶材尺寸:φ2〞,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
  9、样品台:φ86mm
  10、样品台:1rpm-20rpm内可调。
  11、直流溅射功率:500W;射频溅射功率:300W。
  12、开关盖方式:自动升降上盖。
  13、工作气体:Ar等惰性气体。
  进气气路:质量流量计进气,1-100SCCM可调。
  磁控溅射仪
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