特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别。工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记。
电子特种气体种类多样行业集中度高，细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年全球半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元，同比增长 5.7%；国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元，预计到 2020 年将突破 68 亿元。特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。在半导体制造过程中涉及的材料众多，在半导体集成电路的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体，因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性良好和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。
灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距；电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。
